Μηχανή Λιθογραφίας Ευθυγράμμιση Μάσκας Μηχανή Φωτοχάραξης
Εισαγωγή προϊόντος
Η πηγή φωτός έκθεσης υιοθετεί εισαγόμενα UV LED και μονάδα διαμόρφωσης πηγής φωτός, με μικρή θερμότητα και καλή σταθερότητα πηγής φωτός.
Η ανεστραμμένη δομή φωτισμού έχει καλό αποτέλεσμα απαγωγής θερμότητας και φαινόμενο εγγύτητας πηγής φωτός, ενώ η αντικατάσταση και η συντήρηση της λάμπας υδραργύρου είναι απλές και βολικές. Εξοπλισμένη με διόφθαλμο μικροσκόπιο διπλού πεδίου υψηλής μεγέθυνσης και οθόνη LCD 21 ιντσών, μπορεί να ευθυγραμμιστεί οπτικά μέσω...
προσοφθάλμιο ή οθόνη CCD +, με υψηλή ακρίβεια ευθυγράμμισης, διαισθητική διαδικασία και βολική λειτουργία.
Χαρακτηριστικά
Με λειτουργία επεξεργασίας θραυσμάτων
Η εξισορρόπηση της πίεσης επαφής εξασφαλίζει επαναληψιμότητα μέσω του αισθητήρα
Το κενό ευθυγράμμισης και το κενό έκθεσης μπορούν να ρυθμιστούν ψηφιακά
Χρησιμοποιώντας ενσωματωμένο υπολογιστή + λειτουργία οθόνης αφής, απλή και βολική, όμορφη και γενναιόδωρη
Τραβήξτε την πλάκα πάνω και κάτω, απλή και βολική
Υποστηρίξτε την έκθεση σε επαφή με το κενό, την έκθεση σε σκληρή επαφή, την έκθεση σε επαφή με πίεση και την έκθεση σε εγγύτητα
Με λειτουργία διεπαφής nano imprint
Έκθεση μίας στρώσης με ένα κλειδί, υψηλός βαθμός αυτοματισμού
Αυτή η μηχανή έχει καλή αξιοπιστία και βολική επίδειξη, ιδιαίτερα κατάλληλη για διδασκαλία, επιστημονική έρευνα και εργοστάσια σε κολέγια και πανεπιστήμια.
Περισσότερες λεπτομέρειες
Προσδιορισμός
1. Περιοχή έκθεσης: 110mm × 110mm;
2. ★ Μήκος κύματος έκθεσης: 365nm;
3. Ανάλυση: ≤ 1m;
4. Ακρίβεια ευθυγράμμισης: 0,8 μέτρα;
5. Το εύρος κίνησης του τραπεζιού σάρωσης του συστήματος ευθυγράμμισης πρέπει να πληροί τουλάχιστον: Y: 10 mm;
6. Οι αριστεροί και δεξιοί σωλήνες φωτός του συστήματος ευθυγράμμισης μπορούν να κινούνται ξεχωριστά στις κατευθύνσεις X, y και Z, κατεύθυνση X: ± 5 mm, κατεύθυνση Y: ± 5 mm και κατεύθυνση Z: ± 5 mm.
7. Μέγεθος μάσκας: 2,5 ίντσες, 3 ίντσες, 4 ίντσες, 5 ίντσες.
8. Μέγεθος δείγματος: θραύσμα, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Κατάλληλο για πάχος δείγματος: 0,5-6 mm και μπορεί να υποστηρίξει δείγματα έως και 20 mm (προσαρμοσμένα).
10. Λειτουργία έκθεσης: χρονισμός (λειτουργία αντίστροφης μέτρησης).
11. Μη ομοιομορφία φωτισμού: < 2,5%;
12. Μικροσκόπιο ευθυγράμμισης CCD διπλού πεδίου: φακός ζουμ (1-5 φορές) + αντικειμενικός φακός μικροσκοπίου.
13. Η κίνηση της μάσκας σε σχέση με το δείγμα πρέπει να πληροί τουλάχιστον τις ακόλουθες προϋποθέσεις: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Πυκνότητα ενέργειας έκθεσης: > 30MW / cm2,
15. ★ Η θέση ευθυγράμμισης και η θέση έκθεσης λειτουργούν σε δύο σταθμούς και ο σερβοκινητήρας δύο σταθμών αλλάζει αυτόματα.
16. Η ισοπέδωση της πίεσης επαφής εξασφαλίζει επαναληψιμότητα μέσω του αισθητήρα.
17. ★ Το κενό ευθυγράμμισης και το κενό έκθεσης μπορούν να ρυθμιστούν ψηφιακά.
18. ★ Διαθέτει διεπαφή νανοεκτύπωσης και διεπαφή εγγύτητας.
19. ★ Λειτουργία οθόνης αφής;
20. Συνολική διάσταση: Περίπου 1400mm (μήκος) 900mm (πλάτος) 1500mm (ύψος).
