Lithography Machine Mask Aligner Photo-Etching Machine
Εισαγωγή προϊόντος
Η πηγή φωτός έκθεσης υιοθετεί την εισαγόμενη μονάδα διαμόρφωσης UV LED και φωτεινής πηγής, με μικρή θερμότητα και καλή σταθερότητα πηγής φωτός.
Η δομή ανεστραμμένου φωτισμού έχει καλό αποτέλεσμα απαγωγής θερμότητας και εφέ στενής πηγής φωτός και η αντικατάσταση και η συντήρηση λαμπτήρων υδραργύρου είναι απλές και βολικές.Εξοπλισμένο με διόφθαλμο μικροσκόπιο διπλού πεδίου υψηλής μεγέθυνσης και ευρεία οθόνη LCD 21 ιντσών, μπορεί να ευθυγραμμιστεί οπτικά μέσω
προσοφθάλμιο ή οθόνη CCD +, με υψηλή ακρίβεια ευθυγράμμισης, διαισθητική διαδικασία και άνετη λειτουργία.
Χαρακτηριστικά
Με λειτουργία επεξεργασίας θραυσμάτων
Η ισοπέδωση της πίεσης επαφής εξασφαλίζει επαναληψιμότητα μέσω του αισθητήρα
Το κενό ευθυγράμμισης και το κενό έκθεσης μπορούν να ρυθμιστούν ψηφιακά
Χρήση ενσωματωμένου υπολογιστή + λειτουργία οθόνης αφής, απλή και βολική, όμορφη και γενναιόδωρη
Πλάκα τύπου έλξης πάνω και κάτω, απλό και βολικό
Υποστηρίξτε την έκθεση σε επαφή με κενό, την έκθεση σε σκληρή επαφή, την έκθεση σε επαφή με πίεση και την έκθεση σε κοντινή απόσταση
Με λειτουργία διασύνδεσης nano print
Έκθεση ενός στρώματος με ένα κλειδί, υψηλός βαθμός αυτοματισμού
Αυτό το μηχάνημα έχει καλή αξιοπιστία και βολική επίδειξη, ιδιαίτερα κατάλληλο για διδασκαλία, επιστημονική έρευνα και εργοστάσια σε κολέγια και πανεπιστήμια
Περισσότερες λεπτομέρειες
Προσδιορισμός
1. Περιοχή έκθεσης: 110 mm × 110 mm.
2. ★ Μήκος κύματος έκθεσης: 365nm.
3. Ανάλυση: ≤ 1m;
4. Ακρίβεια ευθυγράμμισης: 0,8 m;
5.Το εύρος κίνησης του πίνακα σάρωσης του συστήματος ευθυγράμμισης πρέπει να πληροί τουλάχιστον: Y: 10mm;
6. Ο αριστερός και ο δεξιός σωλήνες φωτός του συστήματος ευθυγράμμισης μπορούν να κινούνται χωριστά προς τις κατευθύνσεις X, y και Z, κατεύθυνση X: ± 5 mm, κατεύθυνση Y: ± 5 mm και κατεύθυνση Z: ± 5 mm.
7. Μέγεθος μάσκας: 2,5 ίντσες, 3 ίντσες, 4 ίντσες, 5 ίντσες.
8. Μέγεθος δείγματος: θραύσμα, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Κατάλληλο για πάχος δείγματος: 0,5-6mm, και μπορεί να υποστηρίξει τεμάχια δείγματος 20mm το πολύ (προσαρμοσμένο).
10. Λειτουργία έκθεσης: χρονισμός (λειτουργία αντίστροφης μέτρησης).
11. Μη ομοιομορφία φωτισμού: ＜ 2,5%;
12. Μικροσκόπιο ευθυγράμμισης CCD διπλού πεδίου: φακός ζουμ (1-5 φορές) + αντικειμενικός φακός μικροσκοπίου.
13. Η διαδρομή κίνησης της μάσκας σε σχέση με το δείγμα πρέπει να είναι τουλάχιστον: X: 5mm;Υ: 5 χιλιοστά;: 6º
14. ★ Πυκνότητα ενέργειας έκθεσης: > 30MW / cm2,
15. ★ Η θέση ευθυγράμμισης και η θέση έκθεσης λειτουργούν σε δύο σταθμούς και ο σερβοκινητήρας δύο σταθμών διακόπτεται αυτόματα.
16. Η ισοπέδωση της πίεσης επαφής εξασφαλίζει επαναληψιμότητα μέσω του αισθητήρα.
17. ★ Το κενό ευθυγράμμισης και το κενό έκθεσης μπορούν να ρυθμιστούν ψηφιακά.
18. ★ Έχει διεπαφή νανο αποτύπωσης και διεπαφή εγγύτητας.
19. ★ Λειτουργία οθόνης αφής.
20. Συνολική διάσταση: Περίπου 1400mm (μήκος) 900mm (πλάτος) 1500mm (ύψος).
